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收藏Wafer Bonding of SiC-AlN at Room Temperature for All-SiC Capacitive Pressure Sensor
Mu, Fengwen; Xu, Yang; Shin, Seongbin; Wang, Yinghui; Xu, Hengyu; Shang, Haiping; Sun, Yechao; Yue, Lei; Tsuyuki, Tatsurou; Suga, Tadatomo; Wang, Weibing; Chen, Dapeng
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