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收藏Integration of porous low-k dielectrics using post porosity pore protection
Zhang, Liping; de Marneffe, Jean-Francois; Verdonck, Patrick; Heylen, Nancy; Wen, Liang Gong; Wilson, Chris; Tokei, Zsolt; Boemmels, Juergen; De Gendt, Stefan; Baklanov, Mikhail R.
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收藏Atomic Layer Deposition of Ruthenium with TiN Interface for Sub-10 nm Advanced Interconnects beyond Copper
Wen, Liang Gong; Roussel, Philippe; Pedreira, Olalla Varela; Briggs, Basoene; Groven, Benjamin; Dutta, Shibesh; Popovici, Mihaela I.; Heylen, Nancy; Ciofi, Ivan; Vanstreels, Kris; Osterberg, Frederik W.; Hansen, Ole; Petersen, Dirch H.; Opsomer, Karl; Detavernie, Christophe; Wilson, Christopher J.; Van Elshocht, Sven; Croes, Kristof; Bommels, Jurgen; Tokei, Zsolt; Adelmann, Christoph
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