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收藏Thermal and Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Al2O3 on GaAs SubstratesGaAs衬底上Al2O3的热和等离子体增强原子层沉积
Sioncke, Sonja; Delabie, Annelies; Brammertz, Guy; Conard, Thierry; Franquet, Alexis; Caymax, Matty; Urbanzcyk, Adam; Heyns, Marc; Meuris, Marc; van Hemmen, J. L.; Keuning, W.; Kessels, W. M. M.
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