未登录
分享
收藏
分享
收藏
分享
收藏Wet oxidation of nitride layer implanted with low-energy Si ions for improved oxide-nitride-oxide memory stacks
Ioannou-Sougleridis, V.; Dimitrakis, P.; Vamvakas, V. Em.; Normand, P.; Bonafos, C.; Schamm, S.; Cherkashin, N.; Ben Assayag, G.; Perego, M.; Fanciulli, M.
分享
收藏
分享
收藏
分享
收藏
分享
收藏
分享
收藏
分享
收藏
分享
收藏
分享
收藏