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收藏Boron pileup and clustering in silicon-on-insulator films
Vuong, HH; Gossmann, HJ; Pelaz, L; Celler, GK; Jacobson, DC; Barr, D; Hergenrother, J; Monroe, D; Venezia, VC; Rafferty, CS; Hillenius, SJ; McKinley, J; Stevie, FA; Granger, C
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