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Olivier Pollet

CEA

8H指数
39论文数
283被引数
收录论文 1
发表时间
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Alternative process for thin layer etching: Application to nitride spacer etching stopping on silicon germanium
errAPPLIED PHYSICS LETTERS
IF3.6
err2014-08-06
err54
PREAI
errPosseme, N.; Pollet, O.; Barnola, S.
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研究方向

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合作学者
合作期刊
S
S. Barnola
H 指数: 23 · 论文数: 114
N
N. Possémé
H 指数: 19 · 论文数: 211
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