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Minggang Liu

chinese academy of sciences

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Error correction method for enhanced focus detection accuracy in high-resolution lithography高分辨率光刻中提高焦点检测精度的误差校正方法
err11TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON ADVANCED OPTICAL MANUFACTURING AND TESTING TECHNOLOGIES, AOMATT 2025, PT 1
IF0
err2026-01-01
err0
PREAI
errLi, Taibei; Liu, Minggang; Kong, Weijie; Wang, Changtao; Pu, Mingbo; Ma, Xiaoliang; Li, Xiong; Luo, Xiangang
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研究方向

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合作学者
合作期刊
蒲明博 封面图
蒲明博 (Mingbo Pu)
H 指数: 66 · 论文数: 420
W
Weijie Kong
H 指数: 9 · 论文数: 46
X
X. J. Luo
H 指数: 4 · 论文数: 11
T
Taibei Li
H 指数: 0 · 论文数: 2
C
Changtao Wang
H 指数: 0 · 论文数: 3
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