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杨军 封面图

杨军 (Jun Yang)

Leibniz Association教授
H指数:16
被引数:819

个人简介

任职于上海大学微电子学院,教授。德国德累斯顿工业大学工学博士,莱布尼茨联合会固态和材料研究所博士后。入选国家级青年海外高层次人才计划、上海市海外高层次人才计划。长期致力于原子级半导体装备、工艺及相关器件的研究,在IEEE Electron Device Letters、IEEE Transactions on Electron Devices、Applied Physics Letters等国际期刊发表论文40余篇。

教育背景

  • 2020.09 – 2024.01

    德累斯顿工业大学 博士(Dr.-Ing.) 工学

工作经历

  • 2025.11 – 至今

    上海大学

    教授

  • 2024.12 – 2025.10

    上海大学

    副教授

  • 2024.02 – 2024.11

    莱布尼茨联合会固态和材料研究所

    博士后

荣誉奖项

  1. 国家级青年海外高层次人才计划
  2. 上海市海外高层次人才计划
  3. 国家优秀博士留学生奖
  4. 中国真空学会真空科学与技术奖
  5. 德国优秀博士海外交流奖
  6. 德国原子级制造研讨会优秀报告奖

研究方向

原子级加工装备低功耗多功能栅控器件集成电路先进工艺与异质集成国家优秀博士留学生奖中国真空学会真空科学与技术奖德国优秀博士海外交流奖德国原子级制造研讨会优秀报告奖近五年代表性论文高性能铟镓锌氧化物晶体管热原子层沉积High-k ZrAlOx DielectricsCNTs/ZTO CMOS Inverter局域焊接银纳米线封装无水ALD-SbOx柔性薄膜晶体管SnS₂薄膜原子层沉积光电子器件锑掺杂