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Discovering deposition process regimes: Leveraging unsupervised learning for process insights, surrogate modeling, and sensitivity analysis Loachamin-Suntaxi, Geremy; Papavasileiou, Paris; Koronaki, Eleni D.; Giovanis, Dimitrios G.; Gakis, Georgios; Aviziotis, Ioannis G.; Kathrein, Martin; Pozzetti, Gabriele; Czettl, Christoph; Bordas, Stephane P. A.; Boudouvis, Andreas G. 分享 收藏
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Investigation of the initial deposition steps and the interfacial layer of Atomic Layer Deposited (ALD) Al2O3 on Si Gakis, Georgios P.; Vahlas, Constantin; Vergnes, Hugues; Dourdain, Sandrine; Tison, Yann; Martinez, Herve; Bour, Jerome; Ruch, David; Boudouvis, Andreas G.; Caussat, Brigitte; Scheid, Emmanuel 分享 收藏
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