G
Georg Pfusterschmied
H指数:15
被引数:724
个人简介
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教育背景
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工作经历
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荣誉奖项
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通过推广楔形几何方法对极性闪锌矿碳化硅的台阶和邻近平面进行第一性原理能量计算
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多晶金刚石MEMS谐振器中通过后沉积等离子体处理提高品质因数
基于标准MEMS结构在晶圆级对局部薄膜厚度和薄膜应力的自动化无接触表征
全介质a-SiOCN:H和a-SiC:H层声学布喇格反射镜用于体声波谐振器
液体中高阶模式下压电MEMS谐振器的响应度和灵敏度

