Yuan-Hong Song

磁感应作用下电容耦合射频CF4等离子体中条纹的形成与破坏

离子和中性粒子的协同效应及表面形貌在等离子体沉积/刻蚀过程中的影响

电容耦合氧等离子体中由外部控制参数引起的模式转换的模拟研究

平面分段电极驱动电容RF等离子体中的电子功率吸收动力学及均匀性控制

电容耦合Ar/CHF3放电的多尺度模拟：基于锯齿形调制的电压波形驱动

由锯齿波电压波形驱动的电容耦合Ar/O2放电中的电子动力学和粒子传输

由定制电压波形驱动的CF4电容耦合等离子体中的高能效F原子产生和控制

射频电容耦合CF4等离子体中的磁滞现象

电不对称电压波形驱动的电容Ar/SiH4放电的混合模拟

电负性电容耦合射频等离子体中的分离诱导模式

通过混合模拟研究双频偏置对电感耦合Cl2等离子体的影响

电负性磁化电容射频等离子体中的正电核