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Yin, Yi
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1
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Genetic algorithm-based optical proximity correction for DMD maskless lithography
OPTICS EXPRESS
IF
3.3
2023-06-29
10
OA
AI
Yang, Zhuojun; Lin, Jie; Liu, Liwen; Zhu, Zicheng; Zhang, Rui; Wen, Shaofeng; Yin, Yi; Lan, Changyong; Li, Chun; Liu, Yong
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