V
Victor M. Bright
H指数:44
被引数:7,820
个人简介
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教育背景
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工作经历
暂无内容
荣誉奖项
暂无内容
在Al2O3热原子层刻蚀过程中使用原位晶圆曲率测量法测量薄膜和表面应力
采用原位晶圆曲率测量法研究Al₂O₃和AlF₃原子层沉积过程中的薄膜与表面应力
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