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收藏The Effects of Postannealing Treatment in Forming Gas on Low-k SiOC(H) Film
Park, S. H.; Kim, H. J.; Cho, M. -H.; Ko, D. -H.; Sohn, H. C.; Hahn, J. H.; Lee, D. -H.; Kwon, Y. S.; Park, S. -Y.; Kim, M. -S.
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