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Dinghai Rui
Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences
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Region selective imaging method based on super-resolution lithography
基于超分辨光刻的区域选择性成像方法
Optics & Laser Technology
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2025-12-10
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AI
Dinghai Rui; Libin Zhang; Yajuan Su; Yayi Wei
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合作期刊
Y
Yayi Wei
H 指数: 16 · 论文数: 267
Y
Yajuan Su
H 指数: 0 · 论文数: 1
L
Libin Zhang
H 指数: 0 · 论文数: 1
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