T
Tae-Gon Kim
H指数:1
被引数:9
个人简介
暂无内容
教育背景
暂无内容
工作经历
暂无内容
荣誉奖项
暂无内容
酸性和碱性清洁溶液在浅 trench 隔离后化学机械抛光清洁中对氧化铈去除及刷子介导的交叉污染的作用
选择性金属离子在PVAc聚合物刷上的吸附与负载在高级金属后CMP清洁中的化学机理
聚乙烯亚胺聚合物作为先进节点钨后化学机械抛光清洗的有效缓蚀剂
暂无内容
暂无内容
暂无内容
暂无内容
酸性和碱性清洁溶液在浅 trench 隔离后化学机械抛光清洁中对氧化铈去除及刷子介导的交叉污染的作用
选择性金属离子在PVAc聚合物刷上的吸附与负载在高级金属后CMP清洁中的化学机理
聚乙烯亚胺聚合物作为先进节点钨后化学机械抛光清洗的有效缓蚀剂