J
Jonathan Chang
H指数:24
被引数:4,126
个人简介
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教育背景
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工作经历
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荣誉奖项
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用于EUV光刻系统中图案监测的纳米级分辨率线偏移检测器阵列 (LODAs)
使用差示扫描量热法评估Li金属固态电池材料组的热安全性
用于超出5 nm节点的光刻控制中的晶圆上EUV成像的4k探测器阵列
FinFET CMOS技术中用于EUV曝光控制的嵌入式微型探测器
基于浮栅耦合效应的互补金属氧化物半导体兼容二维层状薄膜气体传感器
SMALL
IF12.1
用于通过16 nm FinFET CMOS技术进行原位电子束成像的探测器阵列
采用先进CMOS FinFET技术的嵌入式校准方案的动态pH传感器
SENSORS
IF3.5
SYSTEMATIC BIOLOGY
IF5.7
NATURE COMMUNICATIONS
IF15.7
在16 nm CMOS FinFET技术中的晶圆级极性特定响应良品等离子体充电记录仪

