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B
Burn J. Lin
H指数:22
被引数:1,898
个人简介
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教育背景
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工作经历
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荣誉奖项
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用于EUV光刻系统中图案监测的纳米级分辨率线偏移检测器阵列 (LODAs)
用于超出5 nm节点的光刻控制中的晶圆上EUV成像的4k探测器阵列
FinFET CMOS技术中用于EUV曝光控制的嵌入式微型探测器
采用浮栅FinFET技术的晶圆上电子束探测器
用于通过16 nm FinFET CMOS技术进行原位电子束成像的探测器阵列
用于先进光刻工艺的基于晶圆上FinFET的EUV/电子束检测器阵列
在16 nm CMOS FinFET技术中的晶圆级极性特定响应良品等离子体充电记录仪
