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Qinzhen Hao

united states department of energy (doe)

4H指数
7论文数
51被引数
收录论文 1
发表时间
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A transient site balance model for atomic layer etching
errPLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY
IF3.3
err2024-07-11
err1
errOAAI
errVella, Joseph R.; Hao, Qinzhen; Elgarhy, Mahmoud A., I; Donnelly, Vincent M.; Graves, David B.
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研究方向

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合作学者
合作期刊
D
David B. Graves
H 指数: 75 · 论文数: 399
V
Vincent M. Donnelly
H 指数: 56 · 论文数: 273
J
Joseph R. Vella
H 指数: 11 · 论文数: 25
M
Mahmoud A. I. Elgarhy
H 指数: 5 · 论文数: 12
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