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收藏Low-k protection from F radicals and VUV photons using a multilayer pore grafting approach
Zotovich, A.; Rezvanov, A.; Chanson, R.; Zhang, L.; Hacker, N.; Kurchikov, K.; Klimin, S.; Zyryanov, S. M.; Lopaev, D.; Gornev, E.; Clemente, I.; Miakonkikh, A.; Maslakov, K.
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