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B. Kim

Samsung Electronics

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发表时间

Enhanced detection of unknown defect patterns on wafer bin maps based on an open-set recognition approach 基于开集识别方法的晶圆仓图上未知缺陷模式的增强检测

COMPUTERS IN INDUSTRY

IF9.1

2025-01-01

1

PREAI

Shin, Jin-Su; Kim, Min-Joo; Kim, Beom-Seok; Lee, Dong-Hee

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