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A
Aolin Yuan
H指数:0
被引数:1
个人简介
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教育背景
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工作经历
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荣誉奖项
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与后端工艺兼容的HZO/ZrO<sub>2</sub>铁电电容器，实现了51.1 μC/cm<sup>2</sup>的2P<sub><italic>r</italic></sub>、高介电常数（~48.4），并在低压操作下具有超过10<sup>11</sup>次循环的耐久性。
BEOL兼容的无退火Hf<sub>x</sub>Zr<sub>1-x</sub>O<sub>2</sub>铁电器件及其循环依赖演化机制的探究
通过原位掺杂工程制备的HZO电容器，在1.5 MV/cm下实现了高介电常数（~56.2）和铁电性（2P<sub>r</sub>~43.4 μC/cm<sup>2</sup>），并具有10<sup>10</sup>次循环耐久性。
