arrow
返回
M

Markku Tilli

机构信息待补充

12H指数
45论文数
459被引数
收录论文 2
发表时间
Chemically Stable Atomic-Layer-Deposited Al2O3 Films for Processability
err2017-07-11
err69
errOAAI
errBroas, Mikael; Kanninen, Olli; Vuorinen, Vesa; Tilli, Markku; Paulasto-Krockel, Mervi
err分享
err收藏
A 3D micromechanical compass三维微机械罗盘
err2008-04-01
err86
PREAI
errKyynarainen, Jukka; Saarilahti, Jaakko; Kattelus, Hannu; Karkkainen, Anu; Meinander, Tor; Oja, Aarne; Pekko, Panu; Seppa, Heikki; Suhonen, Mika; Kuisma, Heikki; Ruotsalainen, Sami; Tilli, Markku
err分享
err收藏