J
Junyoung Park
H指数:4
被引数:45
个人简介
暂无内容
教育背景
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工作经历
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荣誉奖项
暂无内容
在富氟Ar/CF4等离子体中实现垂直刻蚀形貌
利用超低电子温度等离子体对SiO2进行原子层刻蚀
具有直流偏置栅极的感应耦合等离子体中等离子体电位的异常行为
暂无内容
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在富氟Ar/CF4等离子体中实现垂直刻蚀形貌
利用超低电子温度等离子体对SiO2进行原子层刻蚀
具有直流偏置栅极的感应耦合等离子体中等离子体电位的异常行为