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Marko Vehkamäki

university of helsinki
H指数:29
被引数:2,229

个人简介

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教育背景

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工作经历

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荣誉奖项

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Self-aligned patterning by area-selective etching of polymers and area-selective atomic layer deposition: Decreasing polymer flow and activating noncatalytic surface

通过聚合物区域选择性刻蚀和区域选择性原子层沉积的自对准图案化：降低聚合物流动并激活非催化表面

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A
IF2.1
2026-05-010
PRE
Lasonen, Valtteri; Liyana Pathiranage, Piyumi; Chundak, Mykhailo; Vehkamaki, Marko; Carnoy, Matthias; Borie, Benjamin; Armini, Silvia; Ritala, Mikko
Atomic Layer Deposition of PbS Thin Films at Low Temperatures

低温下PbS薄膜的原子层沉积

CHEMISTRY OF MATERIALS
IF7
2020-09-1628
OAAI
Popov, Georgi; Bacic, Goran; Mattinen, Miika; Manner, Toni; Lindstrom, Hannu; Seppanen, Heli; Suihkonen, Sami; Vehkamaki, Marko; Kemell, Marianna; Jalkanen, Pasi; Mizohata, Kenichiro; Raisanen, Jyrki; Leskela, Markku; Koivula, Hanna Maarit; Barry, Sean T.; Ritala, Mikko

研究方向

暂未获取到该数据
M
Mikko Ritala
H 指数:84论文数:741被引数:3.0万
M
Markku Leskelä
H 指数:89论文数:1,195被引数:3.9万
K
Kenichiro Mizohata
H 指数:34论文数:231被引数:3,313
M
Marianna Kemell
H 指数:53论文数:238被引数:7,316
T
Timo Hatanpää
H 指数:31论文数:133被引数:2,757
M
Miika Mattinen
H 指数:22论文数:61被引数:1,427
M
Mykhailo Chundak
H 指数:10论文数:49被引数:280
J
J. Räisänen
H 指数:38论文数:359被引数:4,913
A
Anton Vihervaara
H 指数:7论文数:24被引数:140
G
Georgi Popov
H 指数:13论文数:38被引数:609